製品紹介

Product introduction

アクア静止型洗浄・乾燥装置
アクア静止型洗浄・乾燥装置〈Canon様との共同特許品〉
  • 従来の洗浄・乾燥技術では困難であった、トレンチやビアホール、コンタクトホール等の極小孔内部(10nm～)を、効率よく洗浄・乾燥することが可能です。
  • 減圧下での密閉チャンバー内でIPA処理、およびDIWリンスをすることにより、薬液処理後の極小孔内部の置換とリンスを行います。