製品紹介

Product introduction

スピンドライヤー
オートバランス・スピンドライヤー
スピンドライヤー
  • 対向式のウェハー遠心乾燥機です。
  • 4インチから12インチまで対応可能です。
  • オプションとしてリンサードライヤーに対応いたします。
  • 自己洗浄機能をオプションとして揃えています。
オートバランス・スピンドライヤー
  • 処理するウェハー枚数、カセット数を問わないオートチューニング機構を持つスピンドライヤーです。
  • 少量、多品種のカスタムICを製造しているFabに最適です。