スクラブ洗浄装置
  • ウェハーの表面、裏面を共にブラシにて洗浄します。
  • 薬液は、ユーザーのニーズに合わせ種々の組み合わせが可能です。
  • ドライIN、ドライOUTの枚葉式全自動洗浄機です。