製品紹介

Product introduction

アクア静止型洗浄・乾燥装置
アクア静止型洗浄・乾燥装置〈Canon様との共同特許品〉
  • 従来の洗浄・乾燥技術では困難であってた、トレンチ・ビアホール・コンタクトホー等の極小穴内部(10nm～)を効率良く洗浄ル乾燥する事が可能。
  • 薬液処理後の極小穴内部の薬液（液成分）を密閉チャンバーにてIPA処理/減圧下でのDIW処理をする事に、真空下での、加圧より確実にリンス置換。
  • DIWによるリンス後、窒素を供給し真空破壊を作りだす事により確実に極小穴内部の乾燥を可能にした、当社独自技術による開発商品。