製品紹介

Product introduction

ナイトライドエッチング装置
全自動ウェットエッチング装置
全自動有機溶剤エッチング装置
ナイトライドエッチング装置
  • 当社のラインヒーター、ケミカルバスを組み込んでいます。
  • 半導体製造プロセスに欠かせないシリコンの窒化膜を高温リン酸にて除去します。
  • 乾燥機は、当社のスピンドライヤーを搭載しています。
全自動ウェットエッチング装置
  • 薬液エッチング、水洗、乾燥を行う、搬送アーム2本型のウェットエッチング装置です。
  • 超音波発生装置がついています。
  • 乾燥は、当社のスピンドライヤーを組み込んでいます。
  • 5インチ～12インチまで対応可能です。
全自動有機溶剤エッチング装置
  • 搬送アームにてカセットを自動搬送しウェハーの処理を行います。
石英管洗浄装置
  • ドライ装置で使用している石英管を自動で洗浄します。