产品介绍

Product introduction

水静态清洗/干燥设备
水静态清洗/干燥设备<与佳能共同获得专利的产品>
  • 可以有效清洗和干燥极小的小孔（例如沟槽，通孔，接触孔）的内部（10 nm〜），这是常规清洗和干燥技术难以做到的。
  • 通过在密闭室中减压进行IPA处理和DIW冲洗，可以在化学处理后的微孔内部进行置换和冲洗。