TOP
产品介绍
・石英产品类
・干燥设备
・水静态干燥机
・单晶圆自动加工设备
・批处理性湿法处理器
・开发产品类实例
公司简介
招聘信息
隐私政策
Japanese
English
Chinese
产品介绍
Product introduction
石英产品类
管线加热器CLH系列
化学浴CB系列
管线加热器化学浴
应用产品
热水箱
干燥设备
旋转干燥机
自动平衡旋转干燥机
水静态干燥设备
水静态清洗/干燥设备
单晶圆自动加工设备
刷洗设备
批处理性湿法处理器
氮化蚀刻设备
全自动湿蚀刻系统
全自动有机溶剂蚀刻系统
石英管清洗设备
开发产品类实例
水静态清洗/干燥设备
产品介绍
Product introduction
管线加热器CLH系列
化学浴CB系列
管线加热器化学浴 应用产品
热水箱
石英管清洗设备
管线加热器CLH系列
管线加热器CLH系列是专为高温化学品循环系统开发的直列式加热器。
石英管中的搅拌螺旋确保了出色的升温时间特性。
接液部分使用高纯度石英和PTFE。
电源标准为AC200V.AC240V。
外部使用阻燃聚丙烯(FRPP)。
外壳内设有漏水检测区。
内置加热器表面温度监控器。(K型热电偶)
产品阵容示例
(CLH-2022 2.2kW.)(CLH-2030 3.0kW.)
(CLH-2044 4.4kW.)(CLH-2060 6.0kW.)
化学浴CB系列
恒温槽用于加热化学药品。
支持循环水箱和浸水箱。
接液部分使用高纯度石英和PTFE。
石英外部的橡胶加热器可确保出色的升温时间特性。
电源标准为AC200V.AC240V。
加热器容量超过3kW。
外部使用阻燃聚丙烯(FRPP)。
外壳内设有漏水检测区。
内置加热器表面温度监控器。(J型或K型热电偶)
管线加热器化学浴应用产品
可处理磷酸特性的划时代系统。
可以实现稳定的蚀刻速率、均匀性和选择性的重大改善。
热水箱
热水箱是为加热纯水而开发的储藏式升温箱。
高纯度石英罐侧面和底部的橡胶加热器确保了出色的升温时间特性。
接液部分使用高纯度石英和PTFE。
电源标准为AC200V.AC240V。
外壳内设有漏水检测区。
外部使用阻燃聚丙烯(FRPP)。
加热器 (HWT-2060,30L,6kW)(HWT-2070,50L,7kW)(HWT-2070,60L,7kW)
内置加热器表面温度监控器。(K型热电偶)