产品介绍

Product introduction

• 石英产品类

• 管线加热器CLH系列
• 化学浴CB系列
• 管线加热器化学浴
  应用产品
• 热水箱

• 干燥设备

• 旋转干燥机
• 自动平衡旋转干燥机

• 水静态干燥设备

• 水静态清洗/干燥设备

• 单晶圆自动加工设备

• 刷洗设备

• 批处理性湿法处理器

• 氮化蚀刻设备
• 全自动湿蚀刻系统
• 全自动有机溶剂蚀刻系统
• 石英管清洗设备

• 开发产品类实例

• 水静态清洗/干燥设备