产品介绍

Product introduction

旋转干燥机
自动平衡旋转干燥机
旋转干燥机
  • 对置的晶圆离心干燥机。
  • 可处理4英寸到12英寸。
  • 提供可选的冲洗干燥机。
  • 具备自清洁功能，作为可选项。
自动平衡旋转干燥机
  • 这是一种具有自动调整机制的旋转干燥机，与要处理的晶片数量和盒子数量无关。
  • 适用于生产少量和各种定制IC的Fab。