产品介绍

Product introduction

水静态清洗/干燥设备
水静态清洗/干燥设备<与佳能共同获得专利的产品>
  • 可以有效清洗和干燥极小的小孔（例如沟槽、通孔、接触孔）的内部（10 nm〜），这是常规清洗和干燥技术难以做到的。
  • 化学液处理后，在密闭腔室内对小孔内的化学液（液体成分）进行IPA处理/减压下的DIW处理，因此冲洗置换比真空加压更可靠。
  • 用DIW冲洗后，将提供氮气以产生真空破裂，从而可以切实干燥小孔的内部，该产品依托本公司的独有技术开发而成。